赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司

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2025-04
管式炉的炉管作为承载半导体材料和反应气体的关键部件,其材质的选择至关重要。目前,常用的炉管材质主要有石英和陶瓷。石英炉管具有良好的耐高温性能,能够承受高达1200℃以上的高温。它的热膨胀系数小,在高温环境下不易变形,能够保证炉内空
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管式炉内气体流速的优化对半导体工艺效果起着决定性作用。气体流速影响着反应气体在炉内的分布均匀性以及与半导体材料的接触时间。为实现气体流速的优化,管式炉在进气口和出气口设计上独具匠心。进气口采用特殊的扩散装置,使反应气体能够均匀地进
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管式炉炉管作为承载半导体材料和反应气体的关键部件,其材质和维护至关重要。常见的炉管材质有石英和陶瓷。石英炉管具有高纯度、低杂质含量的特点,能有效防止对半导体材料的污染,且热膨胀系数小,在高温下尺寸稳定性好。但其机械强度相对较低,容
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立式炉主要适用于6"、8"、12"晶圆的氧化、合金、退火等工艺。氧化是在中高温下通入特定气体(O2/H2/DCE),在硅片表面发生氧化反应,生成二氧化硅薄膜的一种工艺。生成的二氧化硅薄膜可以作为集成电路器件前道的缓冲介质层和栅氧化
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管式炉内气体流速的优化对半导体工艺效果起着决定性作用。气体流速影响着反应气体在炉内的分布均匀性以及与半导体材料的接触时间。为实现气体流速的优化,管式炉在进气口和出气口设计上独具匠心。进气口采用特殊的扩散装置,使反应气体能够均匀地进
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管式炉的加热元件种类多样,各有特性。常见的电阻丝加热元件,一般由镍铬合金制成,成本相对较低。其工作原理是电流通过电阻丝产生焦耳热,进而实现加热。但电阻丝在高温下易氧化,长期使用会导致电阻变化,影响加热效率和稳定性。硅碳棒加热元件则
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